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光刻膠中的eth和eop是什么意思?

2023-08-01 14:36:18

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okx

ETH是指在顯影后，膜的厚度為0時，所需的最低曝光量。換句話說，它是在光刻過程中，用于達到膜厚為0的最小曝光量。

EOP是指在光刻膠上實現(xiàn)圖形的1:1復制所需的曝光量。簡單來說，它是用于確保光刻膠能夠精確復制出原始圖形的曝光量。

希望這樣的解釋能更好地幫助你理解！

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